MC-050
System MC-050 przeznaczony do procesów DLI-CVD/DLI-ALD zaprojektowany został do zastosowań w ośrodkach badawczo-rozwojowych. Piec lampowy w połączeniu z waporyzatorami do bezpośredniego wtrysku cieczy (DLI), zapewniają unikatowe możliwości (CVD, ALD, MOCVD, RTP, RTCVD) wewnątrz jednej komory.
Przykładowe zastosowania:
- Tlenki, azotki
- Metale, stopy
- Materiały z grupy III-V, półprzewodniki o szerokiej przerwie energetycznej
- Materiały 2D: grafen, azotek boru, MoS2, WS2, MoSe2, WSe2 ...
Producent:
- Annealsys
Aplikacja:
- Technologie cienkowarstwowe
Kontakt
Piotr CZERWIŃSKI
Karta produktu
Pobierz dokument
przykładowe dostępne produkty producenta
Seria Zenith
Wysokotemperaturowy system RTP z grzałkami wolframowymi do zastosowań badawczych
