Annealsys AS-Master to niezwykle wszechstronne narzędzie umożliwiające prowadzenie szerokiego zakresu procesów od wygrzewania do szybkiego termicznego chemicznego osadzania z fazy gazowej (RTCVD). Opcjonalne systemy załadunku podłoży przez śluzę pozwalają zwiększyć wydajność urządzenia, przez co świetnie odnajdzie się ono w środowisku produkcyjnym.

Kluczowe cechy systemu:

• Prowadzenie procesów od temperatury pokojowej do 1450°C
• Maksymalna szybkość grzania 200°C/s
• Opcja szybkiego chłodzenia do 100°C/s
• Praca w próżni lub przy ciśnieniu atmosferycznym
• Obróbka podłoży do 200mm lub małych elementów
• Maksymalnie 8 linii gazowych
• Opcjonalna automatyczna śluza załadowcza