AS-Premium
AS-Premium to zaawansowany lampowy system RTP z szeroką gamą konfiguracji w celu sprostania nawet najbardziej niecodziennym wymaganiom. Ładowanie podłoży może być realizowane ręcznie lub przez automatyczną śluzę, również w opcji cassette-to-cassette. Wszystko to sprawia, że idealnie sprawdzi się zarówno do niestandardowych zastosowań badawczo-rozwojowych, jak i w produkcji seryjnej.
Kluczowe cechy systemu:
- Możliwość grzania jedno- lub dwustronnego
- Prowadzenie procesów od temperatury pokojowej do 1250°C
- Maksymalna szybkość grzania 150°C/s
- Praca w próżni lub przy ciśnieniu atmosferycznym
- Obróbka podłoży do 150mm lub małych elementów
- Do 7 linii gazowych
- Opcjonalna automatyczna śluza załadowcza
- Annealsys
- Technologie cienkowarstwowe
Kontakt
Piotr CZERWIŃSKIKarta produktu
Pobierz dokumentprzykładowe dostępne produkty producenta
Seria Zenith
Wysokotemperaturowy system RTP z grzałkami wolframowymi do zastosowań badawczych