Large-Area PLD
Systemy Large-area PLD to zaawansowane urządzenia przeznaczone do nanoszenia wysokiej jakości filmów na podłożach o średnicy do 8” (200 mm). Dzięki obrotowi podłoża oraz automatycznemu skanowaniu wiązki lasera, system zapewnia równomierną grubość warstwy na całym waferze.
Główne cechy systemów:
- W pełni zautomatyzowane systemy PLD do dużych powierzchni
- Rozmiary podłoża: 4” (100 mm), 6” (150 mm) i 8” (200 mm) średnicy
- Osadzanie cienkowarstwowe: filmy epitaksjalne, wielowarstwowe heterostruktury i supersieci
- Kompatybilność z tlenem
- Automatyczne skanowanie wiązki lasera zapewniające dużą jednorodność grubości warstwy
- Neocera
- Technologie cienkowarstwowe
Kontakt
Piotr CZERWIŃSKI
Karta produktu
Pobierz dokument
przykładowe dostępne produkty producenta
CCS-PLD
System do nanoszenia złożonych cienkich warstw z wykorzystaniem lasera impulsowego
Ion-Assisted PLD
System do nanoszenia złożonych cienkich warstw z wykorzystaniem lasera impulsowego
Large-Area PLD
System do nanoszenia złożonych cienkich warstw na dużych podłożach z wykorzystaniem lasera impulsowego
Seria Pioneer 180 PLD
System do nanoszenia złożonych cienkich warstw z wykorzystaniem lasera impulsowego
