Ion-Assisted PLD
Systemy Ion-assisted PLD służą do tworzenia teksturowanych filmów na amorficznych lub polikrystalicznych podłożach, optymalizując szybkość osadzania oraz trawienia jonami. Proces teksturowania odbywa się zazwyczaj w temperaturze pokojowej, co umożliwia stosowanie szerokiego zakresu podłoży. Po nałożeniu teksturowanych wzorców można kontynuować depozycję aktywnych warstw, takich jak YBCO, PZT, CIGS, itp., w wyższych temperaturach, zależnych od konkretnego zastosowania.
Ion-assisted PLD może być traktowane jako metoda tworzenia "inteligentnych" interfejsów między podłożem, a aktywną warstwą filmu.
- Neocera
- Technologie cienkowarstwowe
Kontakt
Piotr CZERWIŃSKIKarta produktu
Pobierz dokumentprzykładowe dostępne produkty producenta
CCS-PLD
System do nanoszenia złożonych cienkich warstw z wykorzystaniem lasera impulsowego
Large-Area PLD
System do nanoszenia złożonych cienkich warstw na dużych podłożach z wykorzystaniem lasera impulsowego
Pioneer 180 PED
System do nanoszenia złożonych cienkich warstw z wykorzystaniem impulsowej wiązki elektronów
Seria Pioneer 180 PLD
System do nanoszenia złożonych cienkich warstw z wykorzystaniem lasera impulsowego