OFERTA

AC450

Producent Alliance Concept
Aplikacja: Półprzewodniki, Optoelektronika, Nanotechnologia, Mikroelektronika, Medycyna i inżynieria biomedyczna, Inżynieria materiałowa, Fotowoltaika, Energetyka i przemysł ciężki, Charakterystyka powierzchni / Inżynieria powierzchni,
Kategoria:
Karta produktu: [ Pobierz ]

AC450 został zaprojektowany z myślą o ośrodkach R&D i posiada wiele zróżnicowanych konfiguracji, które mogą być wykorzystane, tak aby jak najoptymalniej dostosować go dla wymaganej aplikacji. Użytkownik ma możliwość wyboru szerokiej gamy parametrów, w tym m. in.:

  • Możliwość osadzania od dołu lub góry
  • Wyboru śluzy załadowczej z ramieniem manualnym lub automatycznym
  • Płaskiej lub zbieżnej konfiguracji targetów
  • Polaryzacja RF uchwytu na podłoża dla aktywacji powierzchni i/lub procesów osadzania
  • Wyboru pompy wstępnej suchej lub olejowej
  • Wyboru pompy turbomolekularnej lub kriogenicznej
  • I wiele więcej

AC450 jest kompatybilny z platformą CT200. Ta uniwersalność pozwala na podłączenie dodatkowych modułów i ulepszenie systemu w dowolnym czasie.